Intel testet Chipwerkzeuge mit China-Bezug

Der US-Chiphersteller Intel hat im Laufe dieses Jahres Chipfertigungswerkzeuge eines Unternehmens getestet, dessen Geschäftsaktivitäten enge Verbindungen nach China aufweisen und dessen Auslandseinheiten teilweise von US-Sanktionen betroffen sind. Nach Informationen aus mit der Angelegenheit vertrauten Kreisen handelte es sich um Anlagen des in Kalifornien ansässigen Ausrüsters ACM Research. Getestet wurden sogenannte Nassätz-Werkzeuge, die bei der Bearbeitung von Siliziumwafern eingesetzt werden, um Material gezielt zu entfernen.

Die Tests standen im Zusammenhang mit Intels fortschrittlichstem geplanten Fertigungsprozess mit der Bezeichnung 14A, der nach aktuellen Planungen ab 2027 erstmals eingesetzt werden soll. Ob Intel die getesteten Werkzeuge tatsächlich in diese Produktionslinie integrieren wird, ist bislang offen. Es gibt zudem keine Hinweise darauf, dass der Konzern dabei gegen geltende US-Vorschriften verstoßen hätte. ACM Research erklärte, man äußere sich grundsätzlich nicht zu einzelnen Kundenbeziehungen, bestätigte jedoch, dass mehrere Anlagen aus asiatischen Produktionsstätten an Kunden in den USA geliefert worden seien und sich teilweise in der Erprobung befänden.

Besondere Aufmerksamkeit erhält der Vorgang vor dem Hintergrund, dass zwei Auslandseinheiten von ACM Research im vergangenen Jahr mit US-Sanktionen belegt wurden. Den betroffenen Gesellschaften wird vorgeworfen, die chinesische Regierung bei der Entwicklung militärisch nutzbarer Technologien unterstützt zu haben. ACM weist diese Vorwürfe zurück und betont, dass seine US-Aktivitäten organisatorisch und technisch strikt von den sanktionierten Einheiten getrennt seien.

Kritiker aus sicherheitspolitischen Kreisen sehen dennoch Risiken, da Intel als Empfänger staatlicher Fördermittel eine Schlüsselrolle in der US-Halbleiterstrategie einnimmt. Sie verweisen auf mögliche Gefahren eines Abflusses sensiblen technologischen Know-hows sowie auf eine wachsende Abhängigkeit von Ausrüstern mit China-Bezug. Zugleich wird in Washington über neue gesetzliche Regelungen beraten, die den Einsatz chinesischer Ausrüstung in staatlich geförderten Halbleiterprojekten einschränken sollen.

ACM Research wurde 1998 gegründet und verfügt trotz seines Hauptsitzes in den USA über umfangreiche Forschungs- und Entwicklungsaktivitäten in China. Das Unternehmen beliefert neben westlichen Kunden auch chinesische Halbleiterhersteller, die ebenfalls Sanktionen unterliegen. Gleichzeitig baut ACM seine Präsenz in den USA aus, unter anderem mit einem Standort in Oregon in unmittelbarer Nähe zu wichtigen Intel-Einrichtungen.

Der Fall verdeutlicht die wachsenden Spannungen zwischen industriepolitischen Zielen, wirtschaftlichen Erwägungen und sicherheitspolitischen Interessen in der globalen Halbleiterindustrie, während chinesische Ausrüster zunehmend versuchen, Marktanteile außerhalb ihres Heimatmarktes zu gewinnen.